许秋先是隔着手套箱的玻璃看了眼莫文琳旋涂、擦片过后的基片。
发现除了有两片略微不完美,有效层薄膜上出现了少许颗粒状凸起,其他的六片做的都非常不错,蓝绿色的薄膜,涂覆的非常均匀,良品率可以认为是100%。
在实验室里,只要不是涂出来的薄膜有明显分层,或放射状结构等大面积缺陷,偶尔一些颗粒状凸起,即“点缺陷”,并不会影响到最终的小面积测试,只要在测试时规避缺陷部位即可。
“涂膜技术进步很大嘛。”许秋称赞道,随后熟练的把手伸入蒸镀手套箱。
莫文琳笑着说道:“可能是IEICO这个体系比较好涂吧,我之前做PDI的体系,涂出来的膜就经常出问题,尤其是用氯苯溶剂,很容易出现放射状。”
“嗯,PDI体系确实比较困难,”许秋应和了一句,然后将话题转移到正事上:“制备半透明器件的关键就是半透明电极的制备,我选择的是薄层金属电极,用蒸镀的方法制备。”
“唔……”莫文琳思考片刻,说道:“那就是和平常蒸镀差不多,只是金属电极的厚度蒸薄一些吗?”
“对的,具体操作的时候会比平常蒸镀麻烦一些,需要同时用到金和银。”许秋一边解释,一边把基片放入样品台上,顿了顿,又补充了一句:“之后还要拜托你帮忙重复做一些器件。”
“嗯,没问题。”莫文琳应和了一声,然后站在旁边认真看着许秋的操作。
许秋算是先给莫文琳打了一个预防针,他刚才提到的“一些器件”可不是之前二元体系的五批、十批重复器件,而是要做几十批器件。
因为在制备从10纳米到20纳米不同厚度薄层电极的半透明器件时,每种电极厚度都需要单独制备,不像二元体系那样,即使体系不同,也可以一批同时蒸镀。
总不能说我先蒸镀10纳米,然后拿出来测试一下再放回去再蒸镀2纳米,变成12纳米吧。
这样显然是不行的,器件制备过程没有连续进行,就会有额外的变量出来,降低实验结果的准确性。
假设每种条件只按最低重复性标准制备5批器件,六种条件加起来就要至少蒸镀30批。
好在,这种情况下每天可以蒸镀制备的器件批次的极限数量,也可以从原本的一天两批上升到一天三批,因为蒸镀前的操作完全可以多批次同时完成。
比如,一个体系可以一次性旋涂18片,然后分成三次,每次六片进行蒸镀、测试。
而且,这样拿到的数据,准确性还会更高一些,毕竟是同时旋涂得到的有效层嘛。
不足之处,就是需要从早忙到晚,连轴转,比较累。
当然,具体操作的时候,完全可以将工作拆分。
比如,莫文琳负责前面比较困难的旋涂工作,
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